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還不清楚分子泵的不妨進來瞧瞧!

更新更新時間:2020-06-11 瀏覽次數(shù):2024

       分子泵是一種獲得高真空和超高真空機械式真空泵,其分為渦輪分子泵、牽引分子泵和復合分子泵三大類。分子泵主要用于為制造太陽能電池和半導體提供*的真空環(huán)境。分子泵有著世界醉高水準的排氣能力,并且有一系列的產品可以滿足不同的太陽能電池模組和硅晶片的工藝需求,隨著市場的擴大,我們開發(fā)的腳步也從未停止。
  分子泵的抽氣機理與機械泵靠泵腔容積變化進行抽氣的機理不同,利用了動量傳遞原理,使分子定向流動而被排出泵外,從而達到抽氣的目的。
  分子泵在電機的帶動下高速旋轉,采用變頻電源驅動電機,目的是得到較高的轉速。在分子流區(qū)域內,氣體分子與高速轉到的葉片表面碰撞,動量傳遞給氣體分子,使部分氣體分子在剛體表面的運動方向上,產生定向流動而被排出泵外,從而達到抽氣的目的。通常把用高速運動的剛體表面攜帶氣體分子,并使其按一定方向運動的現(xiàn)象稱為分子牽引現(xiàn)象,利用這一現(xiàn)象制成的真空泵稱為牽引分子泵(蓋德泵)。牽引分子泵的優(yōu)點是啟動時間短,在分子流態(tài)下有很高的壓縮比,能抽除各種氣體和蒸氣,特別適于抽除較重的氣體。但由于牽引分子泵抽速小,密封間隙太小,工作可靠性較差,易出機械故降,而且制造困難,實際上很少應用。

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